太陽能電池主要包括晶體硅太陽能電池和薄膜太陽能電池， PVD 工藝主要應用于薄膜太陽能電池中。晶體硅太陽能電池轉化效率較高、性能穩定，且各個產業環節比較成熟，占據了太陽能電池市場的主導地位。與晶體硅太陽能電池相比，薄膜太陽能電池材料用量大大減少，從而大幅降低了制造成本和產品價格，同時，薄膜太陽能電池還具有制造溫度低、應用范圍大等特點。

CIGS薄膜太陽能電池，由Cu（銅）、In（銦）、Ga（鎵）、Se（硒）四種元素構成最佳比例的黃銅礦結晶薄膜太陽能電池，是組成電池板的關鍵技術。CIGS太陽能電池已是太陽能電池產品的明日之星，可以與傳統的晶硅太陽能電池相抗衡。

主要靶材：硅靶、鈦靶、銅靶、鎳銅靶、氧化鈮靶、氧化鋅鋁靶、氧化銦錫靶。